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物(化) 性失效分析 PFA
Decap 開封
Bare Die Extraction 取晶粒
De-layer/De-process 去層解剖
De-Gold Bump 去金凸塊

 

金相分析

精密定點(diǎn)及非定點(diǎn)研磨制樣 / 金相切片
顯微觀察分析(Lieca DM8000紫外干涉150X、Hitachi S4800 冷場發(fā)射電鏡+ EDS)